半導體行業涉及哪些有毒有害氣體？如何做檢測解決方案？
發布時間：2024-04-11
半導體屬于高新技術產業，往往被誤解為“清潔”產業，但事實上，在清洗、光刻、去膠、烘干等工藝中需使用大量的酸、堿及有機溶劑和多種特殊氣體，整個生產過程三廢產量大、種類多。半導體工業用氣體具有品種多、質量要求高、用量少等特點，大部分是有毒或腐蝕性氣體，品種高達百余種。
芯片制造涉及硅片制備、硅片制造、硅片測試/揀選、裝配與封測、最終測試五大生產階段，彼此獨立，而特種氣體則或多或少參與到各個環節當中。
作為不可或缺的關鍵材料，國內半導體行業快速發展，拉動了特氣需求的大幅上升。因此，作為半導體生產的剛需，電子特種氣體是具有重要作用。
半導體行業氣體分類與應用
半導體行業氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類
常用氣體指集中供給而且使用非常多的氣體，比如N2、H2、O2、Ar、He等。
特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等。
半導體制造各工藝所用特氣品種
圖片
半導體制造工藝中電子特氣應用舉例：
01
刻蝕：
刻蝕是采用化學和物理方法，有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。
刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形，刻蝕方法有濕法化學刻蝕和干法化學刻蝕。干法化學刻蝕利用低壓放電產生的等離子體中的離子或游離基與材料發生化學反應，通過轟擊等物理作用達到刻蝕的目的。其主要的介質是氣體。
硅片刻蝕氣體主要是的氟基氣體，包括CF4、SF6、C2F6、NF3 ，以及氯基（Cl2）和溴基（Br2、HBr）氣體等。
常見的刻蝕氣體如下：
02
摻雜：
在半導體器件和集成電路制造中，將某些雜質摻入半導體材料內，使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率，以制造電阻、PN 結、埋層等，摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體。
主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。通常將摻雜源與運載氣體（如氬氣和氮氣）在源柜中混合，混合后氣流連續注入擴散爐內并環繞晶片四周，在晶片表面沉積上摻雜劑，進而與硅反應生成摻雜金屬而徙動進入硅。
常用的摻雜混合氣如下：
03
外延沉積：
外延沉積是為了在襯底晶圓上鍍上一層薄膜作為緩沖層阻止有害雜質進入硅襯底。常用的方法有化學氣相沉積法（CVD）和物理氣相沉積法（PVD），化學氣相沉積法用到大量電子氣體，是反應物質在氣態條件下發生化學反應，生成固態物質沉積在加熱的固態基體表面，進而制得固體材料的工藝技術。
在半導體工業中，在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法，生長一層或多層材料所用的氣體叫作外延氣體。常用的硅外延氣體有SiH2Cl2、SiCl4和SiCl4等。外延主要有外延硅淀積、氧化硅膜淀積、氮化硅膜淀積，非晶硅膜淀積等，是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。
常用半導體外延混合氣組成如下：
半導體行業涉及易燃、有毒有害氣體
半導體行業在生產、制造、工藝等方面會涉及產生易燃易爆、有毒有害性的氣體。
易燃性氣體
易燃性氣體一般指可發生自燃、易燃的可燃氣體。當環境溫度達到一定時，PH3等氣體也會產生自燃?？扇家兹細怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，屬于易燃氣體有H2，NH3，PH3, 等等；
有毒有害氣體
毒性氣體是指在半導體制造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。如砷化氫AsH3、磷化氫PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氫HCN、氟化氫HF等，在工作環境中的允許濃度極微，這些氣體一旦發生泄漏，會對身體產生極大的傷害。
● 砷化氫AsH3，有劇毒，用于半導體工業中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導體。
● 磷化氫PH3，是一種無色、劇毒、易燃的儲存于鋼瓶內的液化壓縮氣體。半導體行業中，主要用于硅烷外延的摻雜劑，磷擴散的雜質源。
腐蝕性氣體
這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性，腐蝕性氣體在干燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示很強的腐蝕性，如HCI、HF、CIF3等。
惰性氣體
這些氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。
但惰性氣體具有室息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人室息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2F6、CF4等。
氧化性氣體
這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等，屬于這類的氣體有CIF3、NF3等。
半導體行業在生產、制造、工藝等方面或多或少都會涉及到易燃易爆、有毒有害氣體，為避免這些危險氣體泄漏等導致的事故，半導體行業用氣體檢測儀的使用不可或缺。
半導體行業危險氣體檢測方案
作為半導體制造工廠氣體的使用者，每一位工作人員都應該在使用前對各種危險氣體的安全數據加以了解，并且應該知道如何應對這些氣體外泄時的緊急處理程序。
在半導體行業生產、制造及儲存等過程中，為了避免這些危險氣體的泄露導致的生命財產損失，需要安裝氣體檢測儀器，來對目標氣體進行檢測。
氣體檢測儀在現今半導體工業已成為必備的環境監控儀器，也是最為直接的監測工具。
理研計器一直關注半導體制造行業的安全發展，以為人們營造安全的工作環境為使命，潛心開發適用于半導體行業的氣體傳感器，針對用戶遇到的各種問題，提供合理的解決方案，不斷升級產品功能，優化系統。
結語
半導體制造業在生產環節經常要使用到極高毒性，腐蝕性及易燃性氣體，氣體檢測系統一直是半導體芯片廠廠務各系統中最重要環節之一，設計上的優劣會直接影響到整個廠的安全，同時作為使用儀器的工廠安全人員也應該具備氣體檢測的安全意識。
安全生產是關系人民群眾生命財產安全的大事，是經濟社會協調發展的標志。在生產過程中，通過安裝氣體檢測報警裝置，時刻檢測有毒有害氣體泄漏濃度，將風險隱患控制在源頭。
理研計器擁有600多種氣體傳感器和100多種氣體探測器。未來，我們仍將不斷開發新產品、研發各項新功能，使得氣體檢測儀在應用上更先進、更適合日新月異的市場環境，致力于為用戶提供一個可靠、準確、安全的氣體檢測方案。
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